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カリキュラムモデル

分類番号 E211-003-3

訓練分野 電気・電子系(E)
訓練コース 新素材評価、特定小規模集積回路の試作
訓練対象者 電子材料の評価および微細加工に関する職務に従事し、今後職場のリーダーの役割を担う者
訓練目標 新素材開発のための評価技術及び、特定電子回路等の集積化試験のための先端的な微細加工プロセスを習得する事により、仕事の上で抱えている問題点の解決を図り、システムの改善や業務の効率化に関する職務の遂行が出来る。
教科の細目 内容 訓練時間(H)
1.分析技術概論 (1)電気的分析
(2)光学的分析
(3)表面分析
5
2.微細加工プロセス概論 (1)フォトリソグラフィ(写真食刻技術)
(2)エッチング
(3)薄膜形成
5
3.評価及び作成実習 (1)現場に即した実習課題の設定
(2)電子材料の電気的、光学的評価
(3)電子材料の表面分析
(4)フォトリソグラフィ
(5)金属薄膜形成
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4.確認・評価 (1)実習の全体的な講評および確認・評価 2
  訓練時間合計 30
使用器具等 カーブトレーサ、インピーダンスアナライザ、エリプソメータ、マスクアライナ、複合型表面分析装置、真空蒸着器、その他

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